俞允成听见了有些惊讶:“啊,这样啊,好像是比较难控制。”
简单来说,直拉法是把硅在锅里烧化,然后往上拉晶。
不愧是搞这个的,一听就明白,高振东笑道:“对,这个方法熔化的硅液主要靠表面张力维持不掉落,所以直径想做大,比直拉法要困难,同时整个拉晶过程的可控性差,容易导致晶体结构缺陷。”
高振东干脆把区熔法的原理向俞允成介绍了一遍。
“有这么多方法?”他样子有点傻呆呆的。
听见高振东肯定了自己的想法,俞允成心里很有几分窃喜。
实际上哪怕到了几十年后,半导体用硅单晶的生产方法还是以这两个为主,其中直拉法占了75%左右的产量。
俞允成明白了:“嗯,看来选择技术路线不能光靠单一指标,还是要综合考虑的。”
高振东笑道:“说对了,对于现在来说,直拉法的缺陷是可以通过设计手段来弥补或者削弱的,比如增加石英内坩埚。而它的好处却是实实在在的,我们不是搞理论研究,理论研究可以只盯着高处,我们搞的是应用研究,还是要看看周围。”
俞允成更加明白了:“啊,我还奇怪为什么要多此一举在石墨坩埚内再套一层石英坩埚呢,原来是我没考虑周全。”
高振东道:“对于我们现在的需求来说,区熔法的好处实际上是用不怎么上的,但是坏处却是实实在在的存在。而直拉法生产效率高,自动化生产技术难度低,更容易控制掺杂浓度,更容易制备大直径单晶,这些可都是我们现在急需的。”
半导体器件用的单晶体,基底的掺杂本来就是常用工序之一,在这一点上,直拉比区熔可就方便多了。
说完,又补充了一句:“等到直拉的有眉目了,再去搞区熔,毕竟区熔也有它的好处。”
俞允成对高振东这堂课心服口服,来这里果然来对了,不但学到了技术,还学会了科研的思想。
所以他对于开口向高振东学习,没有一点不好意思,不赶紧趁高主任有空,多扒拉点东西,那高主任不白来了。
“高主任,在我看来,只要坩埚加热温度稳定,热场就是稳定的,坩埚的加热温度可以靠电源功率控制来完成,而拉晶的提拉旋转和高度可以靠籽晶那头控制,为什么坩埚这头还要增加复杂的坩埚升降和旋转控制呢,这不是大大增加了系统的复杂程度吗。”
高振东听见这个,明白他是真的深入思考过,对于他提到的各个子系统的功能和在系统中发挥的作用都有了较为深入的思考,只是现在还主要靠经验在思考问题,缺乏一定的理论支撑而已。
能清晰的分辨出子系统功能和子系统作用,对于一部分人来说,这已经不容易了。
简单来说,功能,指的是这个子系统能干什么事情。
而作用,则是这个子系统的功能,能为整个系统带来什么好处或者影响。
前者是因,后者是果。