他先在设计图上描绘出光刻机的整体结构,由光源、照射系统、传感系统、控制系统等部分组成。

其中,照射系统是最关键的部件。

赵阳决定使用自己设计的高精度5倍折射摄影式光学还原系统,可以将掩膜版图的电路图形精确投影缩小到硅片上,最大程度还原电路设计的细节。

为提高曝光效率,他还专门设计了高密度的掩膜版图,这样每一次曝光就可以在硅片上描绘更多的电路。

另一方面,赵阳也精心设计了系统的机械部分。

他采用极度刚性的石英和超硬材料,确保光学系统的稳定性。

同时,他添加了点划控制系统,使用线性马达驱动,可以精确控制光刻机在x轴和y轴上的移动,保证了层层曝光的拼合精度。整个机械系统的控制精度达到了微米级。

为了配合光学系统达到理想效果,赵阳还设计了精密的传感与控制系统。

他计划采用自己制造的微处理芯片,既进行光强检测,也可以根据反馈信号精确控制光源输出。

与此同时,他还添加了专门滤光片,确保光线在照射过程中波长精准,从而实现对准精度的微调。

历时一个小时,光刻机的技术方案也已经成型。

之所以选择这两个，主要是自己的小世界里面已经有了一台光刻机。

到时候可以直接申请先造光刻机，然后找个机会把自己小世界里面那台拿出来就可以。

这样就可以成批量的生产芯片了。

那数控机床也正是因为可以有芯片，所以他才选择这个项目。

这样可以极大的跨过代差，达到超越是国际的先进水平。

弄好两项核心设备的设计方案,赵阳立即来到赵部长的办公室。在秘书通报后,赵部长热情地迎上前来:“赵阳,进来进来,你这么快就制定好设计方案了?”