第241章 突破4英寸制程

当真空炉可以正常工作后,李元向着身后做了一个手势。

一直心焦等着结果的人,顿时欢呼起来。

李元笑着转身,开启坩埚加热装置。

透过观察窗口,可以看见,坩埚外围的铜管线圈开始变红。

他时不时地控制着真空度。

不一会,穿戴整齐的肖师傅走了进来,开始接管真空度控制工作。

李元专心观察坩埚里的变化。

不久,硅粉开始融化。

直到全部融化为通红的液体,他控制着提拉抓手下落。

当抓手下的籽晶落入液面,顿时一层液体包裹住籽晶。

他控制着电机,籽晶边旋转,边上拉。

一个直径不下3英寸的晶柱被缓缓拉起。

当单晶柱生长到5mm左右时,晶柱慢慢变细,直到断裂。

李元知道,旋转和提拉速度的配合出现了问题。

因为设计之初,就考虑到这种配合问题,所以,其中一个传动齿轮设计成圆锥体。

只有调整这个圆锥体的切入深度,就能够调整旋转和提拉速度。

根据经验,李元调慢一丝。

实验继续。

调整,失败,再调整,再失败。。。

中途虽然也得到过几次1尺多长的单晶柱,但这不是真空提拉炉的设计产能。

实验继续。

直到两天后,李元终于制备出一条4英寸、1.5米高的单晶柱。

当李元打开真空炉,从里面抱下这根单晶柱,其他实验室的人全都跑出来,趴在玻璃上看着热闹。

黄燕开心地拍着李元的后背,她昨天,也加入了真空炉的调试。

“成功了?”

“成功了!”,李元的声音都在颤抖。

黄燕转向大厅,看着已经陷入欢乐海洋中的师兄、师弟、师妹们,哈哈大笑。

龚师兄坐着没动,脸上慢慢留下一粒粒泪水。

当初他意气风发,主抓半导体实验室,短短几年内取得了骄人的成绩。

正当他准备大展拳脚的时候,他的工作被停止。

实验室被关停。

然后就是领导谈话。

他当时是迷茫的,心中一直憋着一股火。